平面测量仪器是用于评价加工表面平面度的仪器。平面度是指基面与理想平面之间的偏差量，通常用符号J表示。以下是一些常见的平面测量仪器：

1. 千分表：通过直接接触并读取被测物体表面的移动量来测量平面度，但易受参考平台平坦度和产品倾斜影响。

2. 平板对比测量法：将待测工件与一个已知平整度的平板对比，通过对比两者之间的间隙来判断工件表面的平面度。

3. 激光干涉测量法：利用激光干涉原理，通过测量光程差来确定工件表面的平面度。

4. 表面轮廓测量法：利用三坐标测量机或轮廓仪等设备，通过测量工件表面的轮廓来判断其平面度。

5. 一键闪测仪：例如中图仪器VX8000系列一键式快速尺寸测量仪，可一键测量二维平面尺寸、高度尺寸等参数，并搭载光学非接触式测头实现高度尺寸等参数的精密快速测量。

6. 激光跟踪仪：如GTS系列大范围激光追踪测量仪，可实现大范围、高精度的平面度测量。

7. 白光干涉仪：如SuperViewW系列桌面式白光干涉光学轮廓仪，适用于需要高精度平面度测量的场景。

平面测量仪器种类繁多，各自具有不同的工作原理和特点。在实际应用中，应根据具体的测量需求和工件特点选择合适的测量仪器和方法，以确保测量结果的准确性和可靠性。